精密五金蝕刻就是利用合適的化學(xué)溶液腐蝕去除材質(zhì)上未被光阻覆蓋（感光膜）的部分，達(dá)到一定的雕刻深度。那么什么是精密五金蝕刻中的干式蝕刻呢？

　　精密五金蝕刻中的干式蝕刻（又稱(chēng)為電漿蝕刻）是目前較常用的蝕刻方式，其以氣體作為主要的蝕刻媒介，并藉由電漿能量來(lái)驅(qū)動(dòng)反應(yīng)。在半導(dǎo)體的制程中，蝕刻被用來(lái)將某種材質(zhì)自晶圓表面上移除。

　　電漿對(duì)蝕刻制程有物理性與化學(xué)性兩方面的影響。首先，電漿會(huì)將蝕刻氣體分子分解，產(chǎn)生能夠快速蝕去材料的高活性分子。此外，電漿也會(huì)把這些化學(xué)成份離子化，使其帶有電荷。

　　基本上，隨著所欲去除的材質(zhì)與所使用的蝕刻化學(xué)物質(zhì)之不同，蝕刻由下列兩種模式單獨(dú)或混會(huì)進(jìn)行：

　　1. 電漿內(nèi)部所產(chǎn)生的活性反應(yīng)離子與自由基在撞擊晶圓表面后，將與某特定成份之表面材質(zhì)起化學(xué)反應(yīng)而使之氣化。如此即可將表面材質(zhì)移出晶圓表面，并透過(guò)抽氣動(dòng)作將其排出。

　　2. 電漿離子可因加速而具有足夠的動(dòng)能來(lái)扯斷薄膜的化學(xué)鍵，進(jìn)而將晶圓表面材質(zhì)分子一個(gè)個(gè)的打擊或?yàn)R擊出來(lái)。